En Advanced Wave Sensors S.L. (AWSensors) hemos desarrollado CUREGAS, una nueva plataforma para la monitorización en tiempo real de procesos de secado, curado y desgasificación en obleas semiconductoras y materiales avanzados. El sistema combina sensores acústicos de cuarzo (QCM), control térmico, gestión del flujo de gas, electrónica de adquisición y software de análisis en un único equipo integrado.

Gracias a esta tecnología es posible seguir la evolución de la evaporación de disolventes durante tratamientos térmicos, proporcionando información valiosa para optimizar procesos, mejorar la repetibilidad y aumentar la calidad de fabricación. Además, la plataforma está preparada para trabajar con diferentes tipos de sensores acústicos, abriendo nuevas oportunidades en aplicaciones de caracterización de materiales y procesos en fase gas.

El proyecto supone un paso importante en la expansión de la tecnología de AWSensors hacia nuevas aplicaciones en los sectores de los semiconductores, los recubrimientos avanzados y la ciencia de materiales.

Proyecto subvencionado por IVACE a través del programa Proyectos de Innovación PYME (INNOVA-CV), actuación Innovación de PYME, innovación en TEICS (INNOVATeiC-CV) 2025.

Actuación cofinanciada por la Unión Europea a través del Programa Fondo Europeo de Desarrollo Regional (FEDER) de la Comunitat Valenciana 2021-2027.

Referencia: IMINOD/2025/24

Coste Total Subvencionable: 111.461,43 €

Subvención Concedida: 50.157,64 €